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    无尘室的等级分类及应用标准

    文章出处:深圳市兴业卓辉实业有限公司 人气:-发表时间:2020-09-11 11:36:00
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    无尘室的等级说明 


    依据美国联邦政府颁布的标准【Federal Atandard(FS)209E,1992】,可将无尘室分为六级。分别是1级、10级、100级、1000级、10000级、100000级,如果无尘室的等级只用尘粒数目来叙述,则可假设尘粒的尺寸是0.5um,无尘室等级应以特定尘粒尺寸的级数来表示。例如:10级在0.2um(尘粒尺寸在0.2um或更大下,密度不大于75颗/立方英尺),1级在0.1um(尘粒尺寸在0.1um或更大下,密度不大于35颗/立方英尺)。


    2
    无尘室等级标准 


    据查询无尘室等级标准的版本较多,于是小编就整理两个较常用的划分标准,分别是国际标准 IOS14644-1、中国标准 GB/T16292-1996,具体详情请看下表:


    空气洁净度分级标准:IOS14644-1(国际标准)


    空气洁净度等级(N)

    大于或等于所标粒径的粒子最大浓度限值(个/每立方米空气粒子)

    0.1um

    0.2um

    0.3um

    0.5um

    1um

    5um

    ISO Class 1

    10

    2





    ISO Class 2

    100

    24

    10

    4

    ISO Class 3

    1000

    237

    102

    35

    8

    ISO Class 4

    10000

    2370

    1020

    352

    83

    ISO Class 5

    100000

    23700

    10200

    3520

    832

    29

    ISO Class 6

    1000000

    237000

    102000

    35200

    8320

    293

    ISO Class 7




    352000

    83200

    2930

    ISO Class 8




    3520000

    832000

    29300

    ISO Class 9




    35200000

    8320000

    293000

    注:由于涉及测量过程的不确定性,故要求用不超过三个有效的浓度数字来确定等级水平


    空气洁净度分级标准:GB/T16292-1996(中国标准)


    粒径、数值洁净度级别

    尘埃最大允许数/立方米

    微生物最大允许数

    ≥0.5um

    ≥5um

    浮游菌/立方米

    沉降菌/皿

    100级

    3500

    0

    5

    1

    10000级

    350000

    2000

    100

    3

    100000级

    3500000

    20000

    500

    10

    300000级

    10500000

    60000

    -

    15



    3
    无尘室标准分类 

    >>>>

    乱流式(Turbulent Flow):


    空气由空调箱经风管与无尘车间内的空气过滤器(HEPA)进入无尘室,并由无尘车间两侧隔间墙板或高架地板回风。气流非直线型运动呈不规则之乱流或涡流状态。此型式适用于无尘室等级为1,000-100,000级的。


    优点:构造简单、系统建造成本低,无尘室扩充比较容易,在某些特殊用途场所可并用无尘工作台,提高无尘车间等级。


    缺点:乱流造成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出,易污染产品。另外若系统停止运转再激活,欲达要求的洁净度,需耗时相当长一段时间。


    >>>>

    层流式(Laminar):


    层流式空气气流运动成均匀的直线形,空气由覆盖率100%的过滤器进入室内,并由高架地板或两侧隔墙板回风,此型式适用于无尘室等级需求较高的环境使用,一般其无尘室等级为Class 1~100。


    其型式可分为二种:

    ?无尘车间水平层流式:水平式空气自过滤器单方向吹出,由对边墙壁的回风系统回风,尘埃随风向排出室外,一般下流侧污染较严重。


    优点:构造简单,运转后短时间内即可变稳定。


    缺点:建造费用比乱流式高,室内空间不易扩充。


    ?无尘车间垂直层流式:房间天花板完全用ULPA过滤器覆盖,空气由上往下吹,可获得较高的洁净度,在生产中或工作人员所产生的尘??煽焖倥懦鍪彝獠⒉换嵊跋炱渌ぷ髑?。


    优点:管理容易,运转开始短时间内即可达稳定状态,不易受作业状态或作业人员所影响。

      

    缺点:构造费用较高,弹性运用空间困难,天花板的吊架相当占空间,维修更换过滤器较麻烦。


    >>>>

    复合式(Mixed Type):


    复合式是将乱流式及层流式予以复合并用,可提供局部超洁净空气。


    • 无尘车间洁净隧道(Clean Tunnel):以HEPA或ULPA过滤器将生产区域或工作区域100%覆盖使洁净度等级提高至10级以上,可节省安装运转费用。此型式需将作业人员的工作区与产品和机器维修予以隔离,以避免机器维修时影响了工作及品质,超大规模集成电路生产大都采用此种型式。

      洁净隧道另有二项优点:弹性扩充容易、维修设备时可在维修区轻易执行。


    • 无尘车间洁净管道(Clean Tube):将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理,将洁净度等级提至100级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔离,少量的送风即可得到良好的洁净度,可节省能源,不需人工的自动化生产线最适宜使用。药品、食品及半导体均适用。


    • 无尘车间并装局部无尘室(Clean Spot):将乱流无尘室内的产品生产区的洁净度等级提高为10~1000级以上,为生产用。  


    4
    无尘室的应用标准 
    若想检验无尘室是否达到应用标准,大家可以先从遮蔽率;风速、温湿度;压差、构成要求这四个方面考虑:


    >>>>

    遮蔽率


    无尘等级

    Air Change(次/hr)

    HEPA遮蔽率

    Class 100

    240-480

    50%-100%

    Class 1000

    17-240

    10%-35%

    Class 10000

    10

    8%-10%

    Air Change:FFU的表面积*风速*FFU数量/无尘室体积

    HEPA遮蔽率:FFU的表面积*FFU数量/无尘室面积


    >>>>

    风速、温湿度


    气流速度为:0.3-0.5m/s(60-100ft/min)

    一般温度控制范围:T=(21±2)℃

    一般湿度控制范围:(45±5)%RH


    >>>>

    压差


    在两个无尘室间合理的设计压力差应为10Pa,而在无尘室和未确认洁净等级的区域应保持有15Pa的压力差。当产生这些压力差有实际困难时,维持5Pa的最小压力差是可以接受的。


    >>>>

    构成要求


    A.不会因温度变化与振动而发生裂痕

    B.不易产生微尘粒子,且很难附着粒子

    C.吸湿性小

    D.为了维持室内之湿度条件,热绝缘性要高

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